Внутри каждого устройства, которое делает жизнь удобнее, скрывается армия невидимых работников. Их миллиарды, они переключаются миллиард раз в секунду, потребляют энергию в доли нановатт и занимают площадь в несколько атомов. Современный процессор смартфона содержит 20 миллиардов транзисторов на площади ногтя. Видеокарта для игр - до 80 миллиардов. К 2018 году человечество произвело более 13 секстиллионов этих приборов. Это больше, чем звезд в наблюдаемой Вселенной.

Рождение полупроводникового триода

До середины XX века электроника опиралась на вакуумные лампы. Эти стеклянные колбы требовали разогрева катода до сотен градусов для эмиссии электронов, потребляли десятки ватт энергии и регулярно перегорали. Первый компьютер ENIAC занимал целую комнату, содержал 18 000 ламп и требовал мощной системы охлаждения. Лампы выходили из строя каждые несколько часов, превращая работу машины в борьбу с постоянными поломками.

В декабре 1947 года в Bell Labs физики Джон Бардин и Уолтер Браттейн под руководством Уильяма Шокли создали первый работающий транзистор. Точечный германиевый прибор умещался на ладони и усиливал речевой сигнал в 18 раз при комнатной температуре. 23 декабря 1947 года состоялась демонстрация перед руководством лаборатории. Устройство проработало безупречно. За это открытие троица получила Нобелевскую премию в 1956 году.

▶️   Посмотреть какие бывают транзисторы и узнать цены  ◀️

Реклама: ООО "АЛИБАБА.КОМ (РУ)" ИНН: 7703380158

Любопытно, что теоретические основы полевого транзистора заложил еще в 1925 году Юлиус Лилиенфельд, но материалов нужной чистоты тогда не существовало. В СССР физик Олег Лосев в 1920-х годах создал "Кристадин" - генерирующий кристаллический детектор, демонстрировавший усиление в твердом теле задолго до официального признания транзисторного эффекта на Западе.

Физика управления потоком электронов

Транзистор - полупроводниковый прибор с тремя выводами, управляющий большим током с помощью малого сигнала. Название образовано от "transfer resistor" - передающий сопротивление. Суть проста: слабое воздействие на один контакт открывает или закрывает мощный поток между двумя другими.

Биполярный транзистор (BJT) состоит из трех слоев полупроводника с чередующейся проводимостью: эмиттер, база и коллектор. В NPN-структуре тонкий слой p-типа (база толщиной доли микрометра) зажат между двумя слоями n-типа. Когда через базу протекает небольшой ток (единицы миллиампер), он инжектирует электроны из эмиттера. Поскольку база крайне тонкая и слабо легирована, большинство электронов не успевают рекомбинировать с дырками и подхватываются электрическим полем коллектора. Коэффициент усиления по току (β) достигает 100-300, что делает BJT мощными усилителями в аудиотехнике и радиоприемниках.

Полевой транзистор (MOSFET) работает иначе. Между истоком и стоком лежит канал проводимости. Затвор изолирован от канала тонким слоем диэлектрика - диоксидом кремния толщиной несколько нанометров. Подача напряжения на затвор создает электрическое поле, которое либо притягивает носители заряда к поверхности, формируя проводящий канал (n-канальный MOSFET), либо отталкивает их, закрывая канал. Ток через затвор не течет вообще - управление происходит только полем. Это обеспечивает входное сопротивление в сотни мегаом и энергопотребление в статическом режиме близкое к нулю.

IGBT (изолированный затвор биполярного транзистора) объединяет входные характеристики MOSFET с выходными параметрами BJT. Дополнительный p+ слой со стороны коллектора позволяет использовать эффект модуляции проводимости, снижая падение напряжения в открытом состоянии. IGBT незаменимы в силовой электронике: тяговые инверторы электромобилей коммутируют сотни ампер при напряжениях до 1200 вольт.

Материальная база полупроводниковой эры

Первые транзисторы делали из германия. Этот элемент обладал хорошей подвижностью носителей (3900 см²/В·с), но плохо переносил нагрев и не образовывал качественного изолирующего оксида. Уже в 1954 году Texas Instruments выпустила первый кремниевый транзистор. Кремний стал фундаментом индустрии по нескольким причинам: доступность (второй по распространенности элемент в земной коре после кислорода), отработанная технология очистки до 99,9999999% и уникальные свойства его оксида SiO2, обеспечивающего идеальную пассивацию поверхности в MOSFET.

Производство кремниевых транзисторов - это "атомная скульптура". Из расплава кремния методом Чохральского вытягивают монокристаллический слиток диаметром 300 мм. Слиток нарезают на тонкие диски-пластины, которые проходят десятки технологических операций. Фотолитография наносит рисунок схемы с точностью до нанометров. На техпроцессах 3 нм используется экстремальная УФ-литография (EUV) с длиной волны 13,5 нанометров.

EUV-литография работает в вакууме, потому что это излучение мгновенно поглощается воздухом. Источник света - лазер мощностью 30 киловатт, испаряющий микрокапли олова 50 000 раз в секунду и превращающий их в плазму с температурой 500 000 градусов. Установка ASML весит 180 тонн и стоит до миллиарда долларов с учетом инфраструктуры. Точность позиционирования - доли нанометра. Вибрация в пределах нескольких микрон сделала бы процесс невозможным.

Кремний упирается в физические пределы при размерах меньше 3 нанометров. Начинаются квантовые эффекты: электроны туннелируют сквозь барьеры толщиной в несколько атомов, токи утечки растут, контроль теряется. Индустрия обратилась к широкозонным полупроводникам.

Нитрид галлия (GaN) имеет запрещенную зону 3,4 эВ против 1,1 эВ у кремния. Это позволяет создавать транзисторы, выдерживающие напряжения до 600 вольт при размерах в разы меньше кремниевых аналогов. Зарядные устройства для ноутбуков на GaN весят 50 грамм вместо 300, греются меньше и работают эффективнее на 10-15%. Карбид кремния (SiC) с запрещенной зоной 3,2 эВ и теплопроводностью 370-490 Вт/м·К идеален для силовой электроники. Транзисторы на SiC в инверторах электромобилей снижают потери энергии на 5-10%, что напрямую увеличивает запас хода.

Исследователи экспериментируют с углеродными нанотрубками и графеном. Подвижность электронов в подвешенном графене достигает 230 000 см²/В·с - в сотни раз выше, чем у кремния. Но отсутствие естественной запрещенной зоны пока мешает использованию в цифровой логике.

От плоских пластин к вертикальным плавникам

Внешний вид дискретного транзистора определяется корпусом. TO-92 - классический пластиковый корпус для маломощных приборов. Черная "капля" размером 5 на 4 миллиметра с тремя выводами снизу. Такие транзисторы (например, BC547 или 2N3904) стоят в пультах управления, простых усилителях, схемах управления светодиодами. Мощность рассеивания до 0,5 ватт.

TO-220 - стандарт для силовых ключей. Металлическая пластина на задней стенке крепится к радиатору. Мощные MOSFET типа IRFZ44N в таком корпусе коммутируют токи до 50 ампер при напряжениях 55 вольт и рассеивают десятки ватт.

TO-3 - массивный металлический корпус в форме "шляпы" диаметром около 2 сантиметров для экстремальных нагрузок. Встречается в промышленных блоках питания и мощных усилителях.

Поверхностный монтаж принес миниатюризацию. SOT-23 - прямоугольник 3 на 1,4 миллиметра, припаивается прямо на плату без сквозных отверстий. Современные смартфоны содержат сотни таких компонентов на квадратный сантиметр платы.

Внутри микропроцессоров транзисторы не имеют индивидуальных корпусов. Миллиарды структур вытравлены на кремниевой пластине. Но плоская архитектура планарных транзисторов к 2011 году уперлась в предел. При длине канала меньше 22 нанометров затвор терял контроль над потоком электронов. Токи утечки становились неприемлемыми.

Intel первой внедрила FinFET в 2012 году на процессорах Ivy Bridge (22 нм). Канал перестал быть плоским - его вытянули вертикально в форме тонкого плавника (fin). Затвор охватывает канал с трех сторон, резко улучшая контроль. Ширина плавника у Intel на 14 нм составляла всего 8 нанометров. Чтобы увеличить ток, используют несколько параллельных плавников - от 2 до 4 в одном транзисторе.

Но FinFET тоже подошли к пределу. При техпроцессах 5-3 нанометра плавники сложно размещать ближе друг к другу, а высоту приходится наращивать. Samsung и TSMC разработали следующий шаг - GAAFET (Gate-All-Around).

В GAAFET плавники "порезали" на части - получились горизонтальные нанолисты или нанопроволоки, уложенные друг на друга. Затвор окружает канал со всех четырех сторон. Контроль становится абсолютным. В 2017 году IBM, Samsung и Globalfoundries представили первый 5-нанометровый GAAFET-транзистор. Канал состоял из трех кремниевых нанолистов толщиной единицы нанометров каждый.

Samsung первой запустила массовое производство GAAFET в 2022 году на 3-нанометровом техпроцессе. TSMC планирует переход на GAA к 2026 году на 2-нанометровых чипах. Архитектура на 90% похожа на FinFET, но оставшиеся 10% - укладка нанолистов - радикально улучшают энергоэффективность и позволяют проводить больший ток при меньших размерах.

Три функции одного прибора

Переключение - основа цифровой логики. Транзистор работает в двух состояниях: отсечка (полностью закрыт, логический ноль) и насыщение (полностью открыт, логическая единица). Частота переключения современных процессоров достигает 5 гигагерц - пять миллиардов раз в секунду. Из элементарных ключей собирают логические вентили AND, OR, NOT. Комбинируя миллиарды таких вентилей, создают процессоры, память, контроллеры.

Усиление критично для аналоговой электроники. Слабый сигнал от микрофона (милливольты) поступает на базу биполярного транзистора. На выходе получается сигнал в сотни раз мощнее, способный раскачать динамик. В радиоприемниках каскады усиления на транзисторах поднимают сигнал от антенны (микровольты) до уровня, достаточного для детектирования и воспроизведения.

Генерация колебаний нужна для создания опорных частот. Транзисторный генератор с кварцевым резонатором вырабатывает стабильные импульсы с точностью до долей миллионной. Эти "часы" синхронизируют работу процессора, памяти, интерфейсов. Без стабильного генератора цифровая схема превратилась бы в хаос.

Где прячутся миллиарды невидимых работников

Процессор смартфона содержит 15-20 миллиардов транзисторов на кристалле площадью 100-150 квадратных миллиметров. Apple M3 - 25 миллиардов. Видеокарта Nvidia RTX 4090 - 76 миллиардов на чипе AD102. Каждый из них переключается миллиарды раз в секунду, обрабатывая терабайты данных.

Автомобиль содержит десятки блоков управления на транзисторах. Блок управления двигателем регулирует впрыск топлива с частотой в микросекунды. Системы безопасности ABS и ESP обрабатывают сигналы датчиков 100 раз в секунду. В электромобилях силовые транзисторы на SiC в тяговом инверторе коммутируют 400-800 вольт и сотни ампер, преобразуя постоянный ток батареи в трехфазный переменный для электромотора с частотой до 20 килогерц.

Космос требует особых транзисторов. Обычные чипы выходят из строя под воздействием космической радиации за минуты. Тяжелые заряженные частицы вызывают ионизацию и структурные повреждения. Радиационно-стойкие процессоры типа RAD750 используют технологию "кремний на изоляторе" (SOI) и усиленную архитектуру. Марсоход Perseverance и телескоп James Webb работают на RAD750 с 10,4 миллиона транзисторов, выполненных по 150-нанометровому техпроцессу. "Устаревший" размер обеспечивает выживаемость при дозах до миллиона рад - в тысячи раз выше смертельной для человека.

Блоки питания, зарядные устройства, солнечные инверторы используют силовые транзисторы для преобразования энергии. Импульсные блоки питания переключают транзисторы с частотой 50-100 килогерц, получая компактные размеры и КПД выше 90%. Переход на GaN-транзисторы позволил уменьшить зарядники для ноутбуков в три раза при той же мощности 100 ватт.

Путь в ангстремную эру

GAAFET - не финальная точка. Следующий шаг - CFET (Complementary FET). Транзисторы n-типа и p-типа располагают вертикально друг над другом. Это вдвое сокращает площадь логической ячейки без изменения техпроцесса. IBM и Samsung работают над VTFET (Vertical Transport FET) - еще более сложной вертикальной структурой, обещающей двойной прирост производительности или снижение энергопотребления на 85% по сравнению с FinFET.

Квантовые транзисторы предлагают радикально иной подход. Вместо классических битов используются кубиты, находящиеся в суперпозиции состояний 0 и 1 одновременно. Управление происходит на уровне спинов электронов или сверхпроводящих контуров. Квантовые системы пока требуют охлаждения до температур близких к абсолютному нулю (милликельвины), но обещают экспоненциальный рост производительности в задачах криптографии, моделирования молекул и оптимизации.

Индустрия движется к размерам в ангстремы - десятые доли нанометра. Intel планирует 18A (1,8 нм) с технологией доставки питания с обратной стороны чипа (backside power delivery). TSMC готовит 2-нанометровый техпроцесс на GAAFET к концу 2025 года. Samsung стремится к массовому производству 2 нм в 2026 году.

High-NA EUV (с числовой апертурой 0,55 против 0,33 в стандартной EUV) позволит печатать транзисторы размером 1,4 нанометра и меньше. Первые установки поставлены Intel и TSMC в 2024-2025 годах. Стоимость одной машины превышает 300 миллионов долларов.

Невидимая основа цифровой эпохи

Транзистор прошел путь от громоздкого германиевого прототипа 1947 года до атомарных структур, контролируемых с точностью до нескольких атомов. Эволюция продолжается: переход от плоских структур к трехмерным, от кремния к широкозонным полупроводникам, от классических принципов к квантовым.

Каждый год индустрия производит триллионы новых транзисторов. Они работают в телефонах, компьютерах, автомобилях, медицинском оборудовании, спутниках, роботах. Без них не было бы интернета, искусственного интеллекта, автопилотов, современной медицины. Эти крошечные кристаллы полупроводника, невидимые невооруженным глазом, держат на себе весь цифровой мир и определяют границы технологически возможного.